真空鍍膜機(jī)的原理？現(xiàn)有的真空鍍膜機(jī)主要用于一些出氣少的普通玻璃上鍍膜。由于大面積有機(jī)玻璃放氣量大，熱變形溫度低，剛性低，現(xiàn)有的真空鍍膜機(jī)無(wú)法鍍制大面積有機(jī)玻璃?，F(xiàn)有鍍膜機(jī)的蒸發(fā)源呈方形分布，鍍膜層的均

真空鍍膜機(jī)的原理？

現(xiàn)有的真空鍍膜機(jī)主要用于一些出氣少的普通玻璃上鍍膜。由于大面積有機(jī)玻璃放氣量大，熱變形溫度低，剛性低，現(xiàn)有的真空鍍膜機(jī)無(wú)法鍍制大面積有機(jī)玻璃?，F(xiàn)有鍍膜機(jī)的蒸發(fā)源呈方形分布，鍍膜層的均勻性差，無(wú)法保證大面積有機(jī)玻璃在鍍膜過(guò)程中不變形。為了克服現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，提供了一種真空鍍膜系統(tǒng)，其集成了真空鍍膜系統(tǒng)和真空手套箱系統(tǒng)。該系統(tǒng)可以在高真空蒸發(fā)室內(nèi)完成薄膜蒸發(fā)，在具有高純惰性氣體氣氛的手套箱中存儲(chǔ)和制備樣品，并對(duì)蒸發(fā)后的樣品進(jìn)行檢測(cè)。蒸發(fā)和真空手套箱的結(jié)合實(shí)現(xiàn)了蒸發(fā)、封裝、測(cè)試等過(guò)程的全封閉制作，使薄膜生長(zhǎng)和器件制備的全過(guò)程高度集成到一個(gè)環(huán)境氣氛可控的完整系統(tǒng)中，消除了有機(jī)大面積電路制備過(guò)程中大氣環(huán)境中不穩(wěn)定因素的影響，保證了高性能、大面積有機(jī)光電器件和電路的制備。真空鍍膜系統(tǒng)的應(yīng)用：主要用于太陽(yáng)能電池鈣鈦礦、有機(jī)發(fā)光二極管和PLED、半導(dǎo)體制備等的實(shí)驗(yàn)研究和應(yīng)用。

真空鍍膜機(jī)的真空計(jì)怎樣設(shè)置？

真空鍍膜機(jī)的正確操作步驟

一、電氣控制柜的操作

1.打開(kāi)玻璃真空鍍膜機(jī)的水泵和氣源。

2.打開(kāi)總電源。

3.打開(kāi)維護(hù)泵和真空表的電源，將真空表置于V1位置。等到它的值小于10，然后繼續(xù)下一個(gè)操作。大約需要5分鐘。

4.打開(kāi)機(jī)械泵，預(yù)抽，打開(kāi)渦輪分子泵電源，啟動(dòng)，將真空計(jì)切換到V2位置，抽至2以下，大約需要20分鐘。

5.觀察渦輪分子泵讀數(shù)達(dá)到250后，關(guān)泵，打開(kāi)前機(jī)和高閥繼續(xù)抽真空，抽真空到一定程度后，打開(kāi)右高真空表觀察真空度。真空度達(dá)到210-3后，可以接通電子槍的電源。

二。DEF-6B電子槍電源柜的操作

1.總電源

2.真空鍍膜設(shè)備同時(shí)打開(kāi)電子槍控制I和電子槍控制II電源：電子槍控制I電源和延時(shí)開(kāi)關(guān)進(jìn)行汽車玻璃鍍膜，延時(shí)、電源和保護(hù)燈亮。三分鐘后，延遲和保護(hù)燈熄滅。如果后門(mén)未關(guān)閉或水流繼電器出現(xiàn)故障，保護(hù)燈將一直亮起。

3.打開(kāi)高壓，高壓會(huì)達(dá)到10KV以上，調(diào)節(jié)后的束流可以達(dá)到200mA左右，簾柵20V/100mA，燈絲電流1.2A，偏轉(zhuǎn)電流在1-1.7之間擺動(dòng)。

三。關(guān)閉順序

1.關(guān)閉真空表和分子泵。

2.分子泵顯示50時(shí)，依次關(guān)閉閥門(mén)、前級(jí)、機(jī)械泵，大約需要40分鐘。

3.當(dāng)?shù)陀?0時(shí)，再次關(guān)閉維護(hù)泵。

涂布機(jī)常見(jiàn)故障及處理方法

未檢測(cè)到掩模夾具翻轉(zhuǎn)信號(hào)：

1.檢查翻轉(zhuǎn)信號(hào)源的位置。

2.手動(dòng)短路翻轉(zhuǎn)輸入信號(hào)，并使用翻轉(zhuǎn)檢測(cè)功能。當(dāng)電腦能檢測(cè)到信號(hào)時(shí)，證明問(wèn)題出在翻蓋控制開(kāi)關(guān)上，會(huì)根據(jù)情況進(jìn)行相應(yīng)處理。如果沒(méi)有檢測(cè)到信號(hào)，首先檢查線路，然后更換控制卡。

掩模夾具翻轉(zhuǎn)不穩(wěn)定性3360

1.檢查襟翼的初始位置是否符合正時(shí)。

2.檢查翻蓋控制開(kāi)關(guān)是否工作穩(wěn)定，可用指針式萬(wàn)用表跟蹤監(jiān)視。

3.檢查翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)是否靈活可靠。

4.檢查轉(zhuǎn)向信號(hào)時(shí)間的設(shè)置。

5.檢查轉(zhuǎn)盤(pán)與鐘罩內(nèi)壁是否有摩擦。

6.檢查轉(zhuǎn)盤(pán)在旋轉(zhuǎn)過(guò)程中的穩(wěn)定性。

同一個(gè)掩膜夾具的頻散是：

1.檢查晶圓本身是否有較大的色散。

2.檢查膠片校正板的位置是否改變，并重新調(diào)整校正板。

3.檢查擋板在打開(kāi)或關(guān)閉時(shí)是否完全擋住鉬舟。

4.檢查炸彈是否

4.片是否跳頻。

5.修正系數(shù)有錯(cuò)嗎？

6.有沒(méi)有更換監(jiān)控片以防異常撤退？

測(cè)試頻率小于3360

1.更換監(jiān)測(cè)件。

2.檢查測(cè)試彈片是否變形。

3.直接在振蕩器的輸入端插入一個(gè)5MHz的晶體來(lái)測(cè)量頻率。如果有頻率，證明是探針問(wèn)題。如果沒(méi)有頻率，用計(jì)數(shù)器測(cè)量振蕩器的輸出頻率是否異常。如果沒(méi)有正常輸出，證明振蕩器有問(wèn)題。如果有正常輸出，但電腦不顯示，證明控制卡有問(wèn)題。

沒(méi)有一個(gè)控制閥符合act :

1.檢查5V電源是否有輸出，連接是否正確。

2.檢查固態(tài)繼電器板上電源的公共端是否有電。

控制閥不能單獨(dú)操作。

1.檢查相應(yīng)的固態(tài)繼電器是否有輸出。

未達(dá)到真空度時(shí)工作：

1.數(shù)字真空表有異常數(shù)字，30秒內(nèi)無(wú)變化，如0.00-4(國(guó)產(chǎn)真空表常見(jiàn))。

2.指針式儀表真空計(jì)打開(kāi)30秒后，黑色指針仍不擺動(dòng)。

監(jiān)控芯片的使用原理

1.應(yīng)清潔監(jiān)控片的表面。

2.監(jiān)控片要鍍上，暴露在空氣中超過(guò)12小時(shí)禁止使用。

3.禁止使用有缺陷的監(jiān)控片及其表面。

4、在使用過(guò)程中要記錄使用批次，嚴(yán)禁新舊混用。

5.監(jiān)測(cè)片的重復(fù)使用壽命為3次。