sccm和slm是流量的單位，誰(shuí)能說(shuō)具體點(diǎn)嗎？SCCM是標(biāo)準(zhǔn)立方米每分鐘的縮寫(xiě)，是指在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)（即1個(gè)大氣壓，25℃）下每分鐘1立方厘米（1ml/min）的流量，也就是說(shuō)，SCCM是質(zhì)量流量單位，不同

sccm和slm是流量的單位，誰(shuí)能說(shuō)具體點(diǎn)嗎？

SCCM是標(biāo)準(zhǔn)立方米每分鐘的縮寫(xiě)，是指在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)（即1個(gè)大氣壓，25℃）下每分鐘1立方厘米（1ml/min）的流量，也就是說(shuō)，SCCM是質(zhì)量流量單位，不同于一般的流量單位。例如，1cc/sec是單位時(shí)間內(nèi)通過(guò)的體積，而質(zhì)量流量是單位時(shí)間內(nèi)通過(guò)的氣體摩爾數(shù)。這個(gè)單位通常用于化學(xué)反應(yīng)，如CVD，為了精確控制原子組成比（理想氣體公式：PV=NRT，在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下，氣體體積比等于摩爾比，所以只要控制氣體的質(zhì)量流量比，它等于反應(yīng)氣體的摩爾比）

流量單位中SCCM是什么？

SCCM：標(biāo)準(zhǔn)ml/min s：標(biāo)準(zhǔn)表示CC:ml M:min SLM：標(biāo)準(zhǔn)L/min s：標(biāo)準(zhǔn)條件下的標(biāo)準(zhǔn)，L:L M:min

psi是壓力單位，定義為磅每平方英寸，145psi=1MPa，rsccm是質(zhì)量流量單位，標(biāo)準(zhǔn)條件下的ml/min。